Mikromechanische Systeme wie Beschleunigungs- und Drehratensensoren enthalten komplexe, als Silizium-Mikromechanik realisierte, bewegliche Komponenten, die hermetisch von der Umgebungsatmosphäre abgeschirmt und für optimale Betriebsbedingungen evakuiert sind. Die während der Systementwicklung wichtige direkte optische Messung des dynamischen Verhaltens der Mikromechanik erforderte bislang eine aufwendige Entkappung des Sensors und Messung in Verbindung mit sogenannten Vakuum-Probern. Mit dem neuen […]